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IR-400用于腔室清洗終點監(jiān)測的高級氣體監(jiān)測儀

IR-400用于腔室清洗終點監(jiān)測的高級氣體監(jiān)測儀

所屬分類：HORIBA堀場流量計
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IR-400 可在沉積過程中實時監(jiān)測腔室清洗終點。通過優(yōu)化清洗過程，IR-400 減少了清洗時間和氣體用量。清洗氣體用量減少會降低對腔室的損害，并增加所有系統(tǒng)部件的壽命